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光學平臺：Nano系列小型主動隔振平臺，專為小型和輕型應(yīng)用而設(shè)計！自從高分辨率測量和制造技術(shù)達到納米尺度以來，振動就一直是一個重要問題。有效消除振動干擾是獲得精確和可重復(fù)測量結(jié)果的關(guān)鍵。解決方法是將儀器與振動源隔離開來。

光學平臺：i4系列桌面式主動隔振系統(tǒng)，用于搭配掃描電子顯微鏡，六自由度主動隔振。

氣浮隔振光學平臺NAP系列是卓立漢光采用三線擺技術(shù)、層流阻尼技術(shù)所設(shè)計的高性能氣浮隔振平臺，豎直方向和水平方向隔振性能好、振動恢復(fù)時間短。

光纖專用滑臺FP系列特點：主體材料為鋁合金，耐腐蝕性好，結(jié)構(gòu)緊湊，性價比高，左右手成對使用，調(diào)整方便

對位平臺XYR系列是卓立漢光為解決工業(yè)生產(chǎn)線上，對工件進行高精度、高重復(fù)使用頻率對位、邦定、貼合等使用要求而開發(fā)的三軸并聯(lián)式對位機構(gòu)。每臺平臺，由上臺面、下底面及中間的 4 套模組構(gòu)成，每套模組均采用交叉滾柱導軌和交叉滾子軸承導向，帶驅(qū)動模組（3 套）采用小導程滾珠絲杠驅(qū)動，標配步進電機，也可換裝五相步進電機或伺服電機。

XY 系列產(chǎn)品是卓立漢光為解決工業(yè)生產(chǎn)線上，對工件進行高精度、高重復(fù)使用頻率掃描等使用要求而開發(fā)的二維整體式對位平臺，XY 系列已全面取代老款 TSAW 及 MScope 系列產(chǎn)品。XY整體二維對位平臺采用交叉滾柱導軌，滾珠絲杠傳動，整體式設(shè)計，可有效提高正交度和運動精度。中心設(shè)計有通光孔，通光孔也可另配玻璃或鋁合金蓋板，實現(xiàn)透射、反射式的掃描或?qū)ξ恍枨蟆?/p>