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光譜儀用CCD介紹（卓立漢光）CCD，是英文ChargeCoupledDevice即電荷耦合器件的縮寫，它是在MOS晶體管電荷存儲器的基礎上發(fā)展起來的，突出的特點是以電荷作為信號，而不是以電流或電壓作為信號的。在P型或N型硅單晶的襯底上生長一層厚度約為120~150nm的SiO2層，然后按一定次序沉積m行n列個金屬電或多晶硅電作為柵，柵間隙約2.5μm，于是每個電與其下方的SiO2和半導體間構(gòu)成了一個MOS結(jié)構(gòu)，這種結(jié)構(gòu)再加上輸入、輸出結(jié)構(gòu)就構(gòu)成了m×n位CCD（m＞1，n≥...