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Carrier.S100-OB.Z 物鏡?動對焦掃描臺
產(chǎn)品簡介

壓電 · ?范圍掃描運動 — Carrier.S100-OB.Z
室溫 ·壓電運動?案 —“Carrier. 系列“ ??程掃描載物臺 — 精密光學，半導體表征

產(chǎn)品型號：
更新時間：2024-05-21
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
訪問量：2593
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壓電 · ?范圍掃描運動 — Carrier.S100-OB.Z

室溫 ·壓電運動?案 —“Carrier. 系列“ ??程掃描載物臺 — 精密光學，半導體表征

Carrier.S100-OB.Z 物鏡?動對焦掃描臺產(chǎn)品特?

• 兩維度XY 掃描運動 200 um × 200 um；

• 閉環(huán)定位精度優(yōu)于 1nm；

• 最?負載 500 g；

• 針對光學顯微鏡-超分辨定制化解決?案；

• ?持?磁( .NM)和?真空( .UHV)選件升級


Carrier.S100-OB.Z 物鏡?動對焦掃描臺 — 技術(shù)參數(shù)

可選版本 ?

正常版本


.NM     絕對?磁版本；

.HV，     ?真空版本 ;

.UHV ，超?真空版本；

1

運動?向

Z 軸

2

?程

100 um

3

線性度

0.02%

4

搖擺 / 俯仰

30 urad

5

內(nèi)置傳感器

電容式傳感

6

傳感器噪?

0.3 nm

7

Z ?向分辨率，開環(huán)

0.1 nm

8

穩(wěn)定時間 (90%位置到達)

15 ms

0.4 N/um

9

剛性

10

共振頻率(?負載)

650 Hz

11

共振頻率( 150 g 負載)

275 Hz

12

整體重量

270 g

13

不銹鋼304 ，鋁合?

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