室溫 ·壓電運(yùn)動?案 —“Carrier. 系列“ ??程載物臺 — 精密光學(xué)，半導(dǎo)體表征

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更新時(shí)間：2024-05-21

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室溫 ·壓電運(yùn)動?案 —“Carrier. 系列“ 大行程載物臺 — 精密光學(xué)，半導(dǎo)體表征

產(chǎn)品特?

• XY ?向??程 75 mm × 50 mm

• 最?步伐尺?約20 nm

• 最?速度 20 mm/s

• 閉環(huán)傳感，空間分辨率 100 nm / 10 nm

• 全?程運(yùn)動中，保證通孔 85 mm × 65 mm

• ?持?磁 ( .NM ) & 超?真空 ( .UHV )

• 主體鋁合?(硬質(zhì)氧化發(fā)?)

2D ·尺?圖

Carrier.L7550.XY ?范圍壓電掃描臺 — 技術(shù)參數(shù)

可選版本 ?	正常版本	.NM	.HV	.UHV
.NM 絕對?磁版本； .HV， ?真空版本 ; .UHV ，超?真空版本；
1 運(yùn)動?向	X Y
2 外形尺?	250 mm × 200 mm × 30 mm
3 必須安裝空間	325 mm × 250 mm
4 有效穿孔	85 mm × 65 mm
5 主體材料	鋁合?
6 線纜 & 接頭	標(biāo)準(zhǔn)屏蔽線纜 DSub9 接頭		kapton漆包線， PEEK-2mm插針
7 ?作溫度	10 – 40 °C
運(yùn)動參數(shù)-空間推薦安裝形式 I. (下列性質(zhì)均在推薦安裝形式下測得)
8 運(yùn)動?程	75 mm × 50 mm
9 最?速度	~ 20 mm/s
10 最?步伐	~ 30 nm
11 驅(qū)動頻率	Max. 20 kHz (超安靜運(yùn)動)
12 最?負(fù)載	2 kg
13 全?程俯仰/偏擺	0.8 mrad
傳感精度
14 位置傳感類型	- 電阻型傳感( .R ) - 光柵尺傳感( .O )
	75 mm × 50 mm
15 位置傳感量程
	- 電阻型傳感( .R )， 100-200 nm - 光柵尺傳感( .O )， 10 nm， 1nm可選(默認(rèn) 10nm)
16 位置傳感分辨率